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Amsl在2018年处理了450万片euv晶圆

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ASMLIEDM 2019大会上透露,到2018年 ,总共已经使用EUV工具处理了450万个晶片 。该公司最新的NXE:3400C系统每小时可生产 170个晶片。

据ASML称,到2018年,已经使用EUV工具处理了450万片晶圆

从2011年到2018年底累计已通过ASML EUV工具的450万片晶圆中,大部分(250万片)仅在2018年生产,每年从上半年的60万片翻倍2016年。相比之下,台积电每年生产约1200万片晶圆,尽管应注意的是,一个晶圆在制造过程中可能遭受十几次平版印刷曝光。

随着三星和台积电都开始生产其7nm和N7 +工艺,EUV加工的晶圆数量可能在2019年进一步增加 。 基于EUV的芯片包括三星Exynos 9825,麒麟990 5G,以及明年的高通公司的Snapdragon 5G芯片组和AMD的Zen 3。 英特尔将在2021年采用7nm技术来采用EUV。

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截至2018年第二季度,NXE:3400B系统的安装基数达到38,是2017年的近四倍。这表明EUV的采用正在增长,并且客户信任该技术:ASML收到了23项有关EUV将于2019年第三季度发布(并表示它将在2020年交付约35个系统),包括多个DRAM系统。 所有这些订单都是针对新的NXE:3400C系统的,该系统也将于第三季度开始发货。

由于成本原因,ASML EUV工艺已被延迟,但是现在这个阶段已经过去,EUV工艺对于大规模芯片晶圆制造是完全可行的。 最新的ASML设备NXE:3400C,每小时可处理170个晶片。

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